半自动探针台
支持 8 英寸、12 英寸晶圆自动上下片与高精度对准，适合批量晶圆级直流与射频测试，提升测试效率与一致性。
- 晶圆尺寸8 英寸 / 12 英寸
- 对准精度优于 1μm
产品概述
半自动探针台在手动探针台的基础上集成自动上下片与自动对准功能，大幅减少人工操作，提升批量晶圆级直流与射频测试的效率与一致性。
适用于量产测试、工艺监控与晶圆级验证等场景，可灵活配置直流/射频探针与测试系统，并支持扩展高低温、真空等测试选项，为产线与实验室提供高效可靠的测试解决方案。
主要特征
自动上下片
支持 8 英寸、12 英寸晶圆自动上下片。
高精度对准
自动对准精度优于 1μm，定位准确。
批量测试
适合批量晶圆级直流与射频测试。
效率提升
减少人工操作，显著提升测试效率与一致性。
兼容性强
可灵活配置直流/射频探针与测试系统。
模块化设计
支持扩展高低温、真空等测试选项。