手动探针台
MPN 系列探针台功能齐全、兼容性强，可以满足不同规格样品测试，特别是大尺寸样品，如 8 英寸、12 寸晶圆等；也可满足不同应用场景，如直流、射频等。
- 移动范围X/Y 行程约 150mm（6 英寸），精度优于 1μm
- 样品尺寸兼容 6-12 英寸样品
产品概述
MPN 系列波导探针台是一款专为毫米波与太赫兹频段晶圆级测试设计的高精度手动探针台系统。其结构稳定、操作直观，广泛应用于 5G/6G 通信芯片、射频 MMIC、雷达模块及先进封装等领域的高频差分测试与多端口校准。
系统采用高刚性结构设计，配合气浮/精密丝杠位移平台（精度优于 1μm）与大行程载物台（兼容 6-12 英寸样品），可稳定支撑 110GHz 及以上频段的 S 参数测试需求。模块化针座平台兼容波导与直流探针，并支持升级为高低温测试系统，为科研与量产测试提供灵活可靠的解决方案。
主要特征
大尺寸载物台
兼容 6-12 英寸样品，满足大尺寸晶圆测试需求。
高精度位移
X/Y 轴气浮移动，粗调行程 6 英寸，微调精度优于 1μm；Z 轴行程 13mm。
专业显微镜系统
配备专业显微镜，操作直观，对准精准。
模块化针座平台
兼容波导与直流探针，支持多种测试应用。
高低温扩展
可选配高低温测试系统，覆盖更多应用场景。
抗震与稳定性
高刚性结构设计，保证测量稳定可靠。